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最新消息| 已具備提供合格SiC外延片能力,松山湖材料實驗室SiC外延設備通過驗收 | 2022-07-05 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://dy.163.com/v2/article/detail/FK0FKUK00511RIVP.html" 集微網消息，近日，廣東省松山湖材料實驗室陳小龍研究員帶領的SiC及相關材料團隊成功建設了一條SiC外延工藝研發產線。 圖片來源：松山湖材料實驗室 7月29日，驗收專家組對團隊的外延設備及外延片質量進行了技術驗收。驗收專家組認為SiC及相關材料團隊所生產的SiC外延片已經滿足各項驗收指標，該團隊已經具備對外提供合格SiC外延片的能力。 松山湖材料實驗室官方消息顯示，SiC外延設備順利驗收和研發產線的成功建成，標志著松山湖材料實驗室SiC及相關材料團隊正式登上了SiC外延的舞臺。 據介紹，該外延設備的生長速度可達30-60微米小時。對100微米外延片，其背景載流子濃度低于11014cm-3，表面粗糙度低于0.25nm，膜厚均勻性偏差優于1%，載流子濃度均勻性偏差優于7%，表面缺陷密度最低可達0.05cm2。 松山湖材料實驗室以中國科學院物理研究所為牽頭單位，東莞市政府、中國科學院高能物理研究所為共建單位。2018年4月，松山湖材料實驗室在東莞揭牌成立。 據南方日報去年報道，該實驗室已引進18個高水平團隊，均來自國內外著名高校和科研院所，所研究的項目內容涉及實用的合金材料、先進的量子材料等多個領域。分兩批次打造創新樣板工廠項目，包括新材料超快激光極端精細加工技術研發及產業化、第三代半導體材料和器件、仿生控冰冷凍保存材料等一批前沿“硬科技”產業化項目。（校對若冰） 關鍵字標籤：實驗室無菌操作台 |
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